摘要：為了維修TFT-LCD電路缺陷,利用激光化學氣相沉積法(LCVD)沉積鎢薄膜,討論成膜參數(shù)對基底損傷、鎢薄膜電阻率的影響。在空氣氛圍下,波長為351nm的脈沖激光誘導W(CO)6裂解成膜,通過聚焦離子束-掃描電子顯微鏡(FIB-SEM)觀察薄膜橫截面研究成膜參數(shù)對基底損傷的影響,再用高精度的電參數(shù)測試儀(EPM)測試不同參數(shù)下鎢薄膜電阻。控制變量法表明,激光功率或激光束光斑尺寸越大,薄膜基底損傷越大,但電阻率越小,且不沉積薄膜時高功率激光輻射也不會造成基底損傷;激光輻射速度越大,基底損傷越小,但電阻率越大。通過平衡工藝參數(shù),得到了電阻率為0.96Ω/μm、對基底無損傷的鎢薄膜,成分分析表明此時W(CO)6已經(jīng)完全裂解。