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電射流高頻脈沖電源主電路的仿真與研究

陳朝大; 郭鐘寧; 溫亮; 陳曉磊; 鄧宇 廣東工業大學機電工程學院; 廣東廣州510006; 廣東農工商職業技術學院; 廣東廣州510507
  • 整流
  • 逆變
  • simpowersystems仿真建模

摘要:針對電射流掩膜加工工藝對電源的性能要求,提出了高頻逆變的解決方案。自行設計高頻脈沖電源主電路,通過整流濾波橋式逆變,實現對頻率、占空比的調節,利用SimPowerSystems軟件建立了仿真模型,對逆變器輸出交流電壓、逆變器輸出交流電流、直流側電壓、直流側電流進行仿真分析。利用電力電子控制設備搭建了實驗平臺,對驅動電路的輸入輸出、逆變電路IGBT的通斷控制等進行了實驗。實驗表明,研制的主電路在高頻逆變下能夠對負載(燈泡)進行控制,驗證了實驗裝置的合理性和科學性。

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計算技術與自動化

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