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鉻原子感生熒光穩(wěn)頻頻率穩(wěn)定性的分析
張彤; 殷聰; 趙躍進; 錢進; 王建波; 石春英 北京理工大學光電學院精密光電測試儀器及技術北京市重點實驗室; 北京100081; 中國計量科學研究院長度所長度量子實驗室; 北京100029
- 激光穩(wěn)頻
- 感生熒光
- 原子光刻
摘要：激光會聚鉻原子沉積實驗所需時間可長達幾十分鐘至幾個小時,實驗過程中要求激光頻率的波動小于5MHz,感生熒光穩(wěn)頻技術能夠解決原子沉積實驗中激光頻率漂移的問題。為了保證激光頻率的長時間穩(wěn)定性,對穩(wěn)頻系統(tǒng)的誤差信號隨激光功率及原子爐溫度的變化情況進行了研究。結果顯示,在光強為8mW,原子爐溫度為1923K時,激光頻率的長期漂移可抑制到最小,在200分鐘內(nèi)的頻率波動僅有±0.6MHz。同時,重復實驗的結果也表明穩(wěn)頻系統(tǒng)具有很好的穩(wěn)定性,從而為原子沉積技術提供了保障,并提高了沉積實驗的重復性。
- 激光穩(wěn)頻
- 感生熒光
- 原子光刻
摘要：激光會聚鉻原子沉積實驗所需時間可長達幾十分鐘至幾個小時,實驗過程中要求激光頻率的波動小于5MHz,感生熒光穩(wěn)頻技術能夠解決原子沉積實驗中激光頻率漂移的問題。為了保證激光頻率的長時間穩(wěn)定性,對穩(wěn)頻系統(tǒng)的誤差信號隨激光功率及原子爐溫度的變化情況進行了研究。結果顯示,在光強為8mW,原子爐溫度為1923K時,激光頻率的長期漂移可抑制到最小,在200分鐘內(nèi)的頻率波動僅有±0.6MHz。同時,重復實驗的結果也表明穩(wěn)頻系統(tǒng)具有很好的穩(wěn)定性,從而為原子沉積技術提供了保障,并提高了沉積實驗的重復性。
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光學技術
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